【中文】
1、长州产业与熊本大学联合开发超临界流体成膜半导体制造装置
长州产业(位于山口县山阳小野田市,社长冈本晋)将与熊本大学共同致力于通过超临界流体成膜(SCFD)技术开发半导体制造装置。利用高温高压流体实现均匀成膜,以推动半导体硅通孔(TSV)的批量生产。目标首先在2027年度前确立该装置的核心技术。
2、碳纳米管量产 名城纳米碳公司年产3吨
名城纳米碳材料公司(位于名古屋市守山区,社长桥本刚)计划以2026年度下期为目标,在爱知县濑户市内建立碳纳米管(CNT)初期量产工厂。首先安装一台自主研发的CNT合成装置,目标年产量为2至3吨。随后将装置增至约3台,争取早日扩大至年产10吨规模。通过建立高成本曾是难题的高品质CNT批量生产体系,旨在拓展其在锂离子电池(LIB)等产品领域的应用范围。
3、无光掩模布线形成技术 奥克制作所开发用于先进半导体的直接曝光工艺
奥克制作所(位于东京都町田市,社长藤森昭芳)开发了一款面向高端半导体封装的直接曝光装置,该装置无需使用光掩模,可直接将电路图案烧录至半导体基板上。产品计划于2025年度内实现商业化。作为新能源产业技术综合开发机构(NEDO)委托项目的一环,该公司致力于提升该装置的性能。该技术能缩短半导体后工序中的微细布线形成步骤,实现无掩模化,从而降低高端封装的制造成本。
4、未使用稀土 首稀元素化学陶瓷用氧化锆粉末开发
第一稀元素化学工业公司开发出一种不含稀土元素的陶瓷用氧化锆粉末。传统陶瓷用氧化锆粉末通常采用氧化钇等稀土元素作为稳定剂,而该新产品则选用易于获取的氧化钙作为稳定剂。该粉末在保持耐久性的同时,能呈现出高透明度特性。由于不使用稀土元素,可实现稳定供应。
5、可灵活弯曲和伸展 早稻田大学开发出热电发电装置功能
早稻田大学理工学术院的岩濑英治教授与寺嶋真伍讲师等研究团队,通过采用在薄膜基板上进行切割以实现立体化的“剪纸结构”,开发出可灵活弯曲和伸展的热电发电装置。该装置通过贴附在人体表面,利用体温与空气的温差发电并实现无线传输,已成功完成验证。由于无需更换电池或废弃处理,该技术有望应用于可穿戴设备以及医疗和福祉领域。
【日本语】
1、超臨界流体成膜による半導体製造装置…長州産業と熊本大、開発で連携
長州産業(山口県山陽小野田市、岡本晋社長)は、熊本大学と共同で超臨界流体成膜(SCFD)による半導体製造装置の開発を目指す。高温高圧の流体を用いた均質な成膜により、半導体のシリコン貫通ビア(TSV)の量産を実現する。まず2027年度までに同装置の要素技術の確立にこぎつける。
2、カーボンナノチューブ量産…名城ナノカーボン、年3トンに
名城ナノカーボン(名古屋市守山区、橋本剛社長)は、2026年度下期を目標に、愛知県瀬戸市内にカーボンナノチューブ(CNT)の初期量産工場を立ち上げる。独自開発したCNT合成装置をまずは1台設置し、年間2―3トンの生産を目指す。その後装置を3台ほどまで増やし、早期に年10トンまで拡大させる。コストの高さが課題だった高品質なCNTの大量生産体制を確立することで、リチウムイオン電池(LiB)など製品への適用拡大を目指す。
3、フォトマスクレスで配線形成…オーク製作所、先端半導体向けダイレクト露光開発
オーク製作所(東京都町田市、藤森昭芳社長)はフォトマスクを使わず、半導体基板に直接、回路パターンを焼き付ける先端半導体パッケージ向けダイレクト露光装置を開発した。2025年度内に製品化する。新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の委託事業の一環で、装置の高度化に取り組んだ。半導体後工程における微細な配線形成工程をマスクレスにより短縮し、先端パッケージの製造コストを減らせる。
4、レアアース未使用…第一稀元素化学、セラミックス用ジルコニア粉末開発
第一稀元素化学工業はレアアースを使用しないセラミックス製造用のジルコニア粉末を開発した。セラミックス用ジルコニア粉末には一般的にイットリアなどレアアースの安定化剤を使用するが、新製品は入手が容易なカルシア(酸化カルシウム)を安定化剤にした。耐久性を維持しながら、高い透明感を出せる。レアアースを使用しないため、安定的に供給できる。
5、フレキシブルに屈曲や延伸ができる…早大が開発、熱電発電デバイスの機能
早稲田大学理工学術院の岩瀬英治教授、寺嶋真伍講師らの研究グループは、フィルム基板に切り込みを入れて立体化する「切り紙構造」の採用により、フレキシブルに屈曲や延伸が可能な熱電発電デバイスを開発した。人の体表に貼付し、体温と空気の温度差による発電で無線送信する実証にも成功した。電池交換・廃棄がなく、ウエアラブル機器や医療・福祉分野で応用が期待されるとしている。